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NovoClean Instruments

0.1 μm 尘埃粒子计数器

面向检测标准或监测方案明确要求从0.1 μm开始监测的半导体洁净室、精密电子制造及超高洁净等级环境,提供2.83 / 28.3 L/min两种固定流量型号。

关键参数

0.1 μm起测

关键参数

2.83 / 28.3 L/min

关键参数

8粒径通道

关键参数

半导体洁净环境

半导体洁净室精密电子制造超高洁净等级环境
0.1 μm 尘埃粒子计数器
0.1 μm起测
2.83 / 28.3 L/min固定流量型号
区域、房间与点位管理

适用场景

  • 半导体洁净室0.1 μm颗粒监测
  • 精密电子制造环境颗粒监测
  • 超高洁净等级环境监测

型号对比

型号采样流量最小检测粒径粒径通道 / 功能
NW-101X Pro2.83 L/min0.1 μm
0.1 μm0.15 μm0.2 μm0.25 μm0.3 μm0.5 μm1.0 μm5.0 μm
NW-110X Pro28.3 L/min0.1 μm
0.1 μm0.15 μm0.2 μm0.25 μm0.3 μm0.5 μm1.0 μm5.0 μm

设备功能与数据完整性

面向检测标准或监测方案明确要求从0.1 μm开始监测的半导体洁净室、精密电子制造及超高洁净环境,提供2.83 L/min和28.3 L/min两种固定流量型号,并支持区域、房间、点位、采样任务和记录管理。

半导体洁净环境

面向半导体洁净室、精密电子制造和超高洁净等级环境的颗粒监测。

0.1 μm起测

适用于检测标准或监测方案明确要求从0.1 μm开始记录的场景,提供8个粒径通道。

两种固定流量

提供2.83 L/min和28.3 L/min型号,按目标采样体积、点位数量和监测节拍选型。

任务与记录管理

标准配置包含区域、房间、点位、采样任务、记录查询和数据输出;蓝牙针式打印机和扫码枪为选配,其他特殊需求可按项目评估定制。

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